Plateforme Mésoscope 3D – Matériaux numériques
Le projet MESO3D consiste en l’acquisition d’un microscope électronique à balayage de dernière génération à pointe FEG (Field Emission Gun) cathode chaude à fort courant équipé de plusieurs techniques de caractérisations 2D complémentaires (EBSD haute résolution, EDS, ECCI ) et d’une platine eucentrique de précision. Il sera équipé par ailleurs de détecteurs très performants pour l’imagerie électronique permettant d’étudier tout type de matériaux. Ce microscope sera couplé à un dispositif de découpe en couches sériées de grande taille par plasma xénon FIB (Focused Ion Beam), et permettra donc de mener toutes ces analyses en 3D sur un volume de matériaux de grande taille (proche du mm3), très supérieure à celle atteignable par les moyens conventionnels comme le FIB avec un canon classique au gallium. Une reconstruction multi-signaux (cristallographie, chimie et structure des défauts) en 3D de grands volumes sera disponible permettant d’aborder de multiples problématiques matériaux à la fois en recherche appliquée et en recherche fondamentale. Le projet s’adosse aussi sur un volet d’IA pour le traitement des gros volumes de données. Ce projet est porté par le PIMM (porteur : T. Auger), et a été proposé par l’ENSAM à HESAM dans le cadre du CPER. Les partenaires du projet sont le CNRS, la F2M-msp, la fédération FERMI, le groupement de service PANAM (GDS2001), Sorbonne Université, Université de Paris Cité, les laboratoires LMPS, LMS, LSPM, Navier et la société ESI. Il est financé par le CNRS (300k€) et la région Ile-de-France (1400k€). Le nouveau microscope sera installé au PIMM (site du Cnam-Paris), dans un espace entièrement rénové.