Micro-essais in situ dans un Microscope électronique à balayage pour
l’ingénierie des Microstructures et des Matériaux Multifonctionnels
Le projet 5M (Micro-essais in situ dans un Microscope électronique à balayage pour l’ingénierie des Microstructures et des Matériaux Multifonctionnels) a pour objectif de développer un banc MEB expérimental original de caractérisations mécaniques et électriques de matériaux à une échelle sub-micronique. Ce MEB sera équipé d’un nano-indenteur instrumenté, d’un nano-manipulateur 4 pointes (pour la mesure de la résistivité électrique), et d’une platine chauffante. Cette combinaison innovante (encore inédite en France dans le couplage mécanique/électrique) doit permettre de mieux comprendre la distribution des propriétés mécaniques-électriques en lien avec la physico-chimie à l’échelle locale pour une très grande variété de matériaux hétérogènes (métalliques, oxydes, céramiques, polymères, semi-conducteurs) pouvant être cristallins ou amorphes, obtenus à l’état de massifs, de poudres compactées et/ou en couches minces par des procédés de fabrication liquide-solide ou vapeur-solide et que l’on peut modifier par différents traitements (thermiques, chimiques, mécaniques). Le projet, porté par Philippe Djémia (LSPM, PU à l’USPN), est co-financé par la région Ile-de-France, l’USPN, le CNRS, et l’ANR, en partenariat avec des laboratoires de l’USPN, du labex SEAM, et des fédérations FERMI et F2M-msp. Des partenaires industriels régionaux (St Gobain, Essilor, Z3Dlab) sont également impliqués.